原位自動(dòng)納米操作系統(tǒng)

原位自動(dòng)納米操作系統(tǒng)技術(shù)特點(diǎn)

*兼容主流電鏡，不影響電鏡功能

運(yùn)動(dòng)定位性能：行程大、亞納米分辨率

位移傳感器集成自動(dòng)化和可編程運(yùn)動(dòng)

SEM真空環(huán)境優(yōu)化設(shè)計(jì)，可快速安裝與拆卸

原位自動(dòng)納米操作系統(tǒng)技術(shù)能力

力學(xué)測(cè)量

LifeForce為納米材料的力學(xué)特性提供高分辨率的力和位移反饋，實(shí)例照片展示的是用球端AFM懸臂探針對(duì)硅納米線簇進(jìn)行納米壓痕，以及對(duì)單根納米線的拉伸測(cè)試。

電學(xué)特性

LifeForce為納米材料提供可靠、低噪音的電測(cè)量，以及與納米結(jié)構(gòu)的原位相互連接。實(shí)例照片展示的是四探針測(cè)量納米線電學(xué)性能。

拾取和放置操作

使用末端工具（例如：探針、微納米夾持器、超 聲切割針），操作者能夠操作LifeForce納米操 作手在SEM電鏡內(nèi)對(duì)微納米物體進(jìn)行推、拉和 抓取等操作。

制作微納米器件

精密的操作手運(yùn)動(dòng)能夠?qū)崿F(xiàn)微納米器 件的快速成型和后處理。實(shí)例照片展 示的是納米線FET傳感器的構(gòu)造。

納米電子器件電學(xué)測(cè)量

LifeForce納米操作機(jī)是是市面上能夠自動(dòng)探測(cè)電子 結(jié)構(gòu)（范圍從亞微米，亞100nm及亞20nm）。只需要通過(guò)計(jì)算機(jī)點(diǎn)擊鼠標(biāo)，將探測(cè)針定位到目標(biāo)位置。低定位漂移，保證數(shù)據(jù)采集的可靠性。