產品中心
Product Center
熱門搜索：
Element美國EDAX能譜儀
EP6美國 Cascade Microtech EP6探針臺
TEM氮化硅薄膜窗口
NTEGRAPrima俄羅斯產全功能掃描探針原子力顯微鏡
Zeta-20三維光學輪廓儀
主動隔振臺ARISTT
石英/硅/聚合物模板高分辨率納米壓印模板（Mold for nanoimprint lithography）
P170全自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀
iNano高精度臺式納米壓痕儀
PLD/Laser-MBE脈沖激光沉積/分子束外延聯用系統
Lumina光學表面缺陷分析儀
P7晶圓探針式輪廓儀/臺階儀
納米團簇束流沉積系統
Profilm 3D經濟三維光學輪廓儀 可測樣
Solver P47俄羅斯產高性價比掃描探針顯微鏡原子力
納米壓印膠
當前位置：首頁
產品中心納米壓印Imprint Nano納米壓印4英寸納米壓印機
產品簡介
4英寸納米壓印機的技術與工藝特點，*性地設計和制備工作于低真空環境下，結合正負壓可控調節并利用壓縮空氣作為壓印驅動力的，通過壓力傳導裝置、緩沖與勻壓、壓力調節控制裝置等手段實現平穩可靠可控的壓印過程，借助于多種靈活的自動調節裝置的巧妙設計與運用，實現壓印中的自動找平調控，以保證模板納米圖案均勻精確的大面積復制轉移。
product
產品分類4英寸納米壓印機主要特點：
該納米壓印機利用紫外曝光或者熱壓固化實現壓印圖案在壓印高分子膠層中的復制，并通過各項功能與過程參量的優化與篩選，通過遠程PLC控制系統結合觸摸屏單元，實現納米壓印全過程的實時監控與全自動化控制。
4英寸納米壓印機技術參數：
溫度范圍從室溫到250攝氏度；
壓力范圍從0到300個PSI（對于4英寸晶元）；
紫外曝光系統；
真空范圍從1個標準大氣壓到0.1帕；
水冷系統；
樣品尺寸直徑zui大4英寸；
PLC遠程控制，帶觸摸屏；
手動裝載樣品和模板；
自帶機器控制軟件；
在軟件控制下可實現自動增加和釋放壓力；
可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統的納米壓印機。
上一個：
返回列表
