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產品簡介
Strain Viewer 內應力檢測儀具備化合物晶圓內應力分布測量及缺陷篩查等檢測功能
| 品牌 | 其他品牌 |
|---|
Strain Viewer 內應力檢測儀
優勢
√ 基于雙折射應力測量模型實現應力瞬時測量,顯示應力二維分布偽彩圖
√ 采用雙遠心檢測光路,相位延遲測量精度高
√ 根據不同測量視場要求,多種鏡頭可選
√ 訂制化樣品托盤,適應不同規格晶圓批量測試
適用于三代化合物晶圓片、玻璃晶圓片、精密光學元件(平晶,棱鏡,波片,透鏡等)的內應力檢測
面向化合物晶圓生產、光學精密加工等行業
√ 基于偏振光應力雙折射效應檢測晶圓材料內部應力分布。當晶體材料由于內部缺陷存在應力集中時會導致應力雙折射效應,偏振光透過它時會發生偏振態調制,通過測量透射光的斯托克斯矢量可以推算??材料的應力延遲量,從而得到材料內應力分布;
√ 可同步集成晶圓表面缺陷暗場檢測和尺寸量測。
實測案例







