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      當前位置:首頁產品中心晶圓檢測內應力檢測儀

      內應力檢測儀

      產品簡介

      Strain Viewer 內應力檢測儀
      具備化合物晶圓內應力分布測量及缺陷篩查等檢測功能

      產品型號:
      更新時間:2025-09-18
      廠商性質:代理商
      訪問量:2659
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      Strain Viewer 內應力檢測儀

      優勢

      √ 基于雙折射應力測量模型實現應力瞬時測量,顯示應力二維分布偽彩圖

      √ 采用雙遠心檢測光路,相位延遲測量精度高

      √ 根據不同測量視場要求,多種鏡頭可選

      √ 訂制化樣品托盤,適應不同規格晶圓批量測試

      適用對象

      適用于三代化合物晶圓片、玻璃晶圓片、精密光學元件(平晶,棱鏡,波片,透鏡等)的內應力檢測

      適用領域

      面向化合物晶圓生產、光學精密加工等行業

      檢測原理

      √ 基于偏振光應力雙折射效應檢測晶圓材料內部應力分布。當晶體材料由于內部缺陷存在應力集中時會導致應力雙折射效應,偏振光透過它時會發生偏振態調制,通過測量透射光的斯托克斯矢量可以推算??材料的應力延遲量,從而得到材料內應力分布;

      √ 可同步集成晶圓表面缺陷暗場檢測和尺寸量測。




      實測案例

      內應力檢測儀

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      Strain Viewer技術規格

      內應力檢測儀



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