掃描熱學(xué)顯微鏡驅(qū)近系統(tǒng)的機械設(shè)計可使得經(jīng)過幾次驅(qū)近之后仍然能獲得相同的檢測區(qū)域。掃描位移大約為500nm，這個特點可以讓您在幾周內(nèi)仍然能夠研究相同的樣品區(qū)域。

掃描熱學(xué)顯微鏡：本設(shè)備通過使用特殊帶熱電偶的針尖，掃描樣品時，熱電偶的溫度，通過熱信號成像放大器，通過AFM處理，同時得到熱成像圖和形貌圖。可以得到定量溫度分布成像圖，和定性熱導(dǎo)率分布圖。針尖的設(shè)計，可以達到小于50nm的熱空間分辨率。